潔凈室方案（FFU在潔凈室的應用）

潔凈室的定義：將一定空間范圍內的空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。 　　由以上之定義，我們可知構成潔凈室須俱備以下各項因素： 　　

1 .能除去空氣中飄游之微塵粒子。　　

2 .能防止微塵粒子之產生。　　

3 .溫度和濕度之控制。　　

4 .壓力之調節?！　?/span>

5 .有害氣體之排除。　　

6 .結構物與隔間之氣密性?！　?/span>

7 .靜電之防制?！　?/span>

8 .電磁干擾之預防。　　

9 .安全因素之考慮?！　?/span>

10.節能之考量。 

FFU在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是： 

（1）取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內； 

（2）動機采用DC/EC（電子整流電機），以耗較原交流電機節約近50%，因為小風機所用小容量（功率<1P）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機的效率可達75%～80%；在調速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。 

（3）但FFU出口靜壓不能過大，一般采用出口風速0.38m/s，此時其靜壓一般在250Pa以內。 

FFU回風系統與其他方式相比的優點  

優點： （1）靈活性大，便于改造；                                                        

（2）占用建筑物空間較少； 

（3）潔凈凈室內空氣壓力大于回風靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。 

缺點： （1）要求回風道全部阻力（包括多孔地板、格柵及風道）、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力（在初阻力時），總共應控制在165Pa左右，以滿足運行時阻力在250Pa以內。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風道阻力在15Pa以內，否則就需要再增設加壓風機系統，這就是降低了FFU系統的綜合優點。  

（2）采用DC/EC電機后，單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統為低，但已有指出，比采用改進后的大型軸流風機的回風系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。 

一般FFU系統由于單位風量的能耗較大，因此潔凈室的冷負荷亦相應增加。   具體情況下的評價  FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經濟性一般往往可取。 

潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統采用FFU，當前還是不經濟的；對小系統有意義作具體比較。  對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多，但對IC工廠而言，FFU系統的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統已經普遍。 

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